中古 ASML XT 1400E #9289671 を販売中

ASML XT 1400Eは、集積回路のリソグラフィパターニングに半導体業界で使用される最先端のウェハステッパーです。XT 1400Eは、精度と速度を向上させるために、6軸非SA定数スキャン（NASC）ステージなどの高度な技術を採用しています。この機械に0。55の数値の開きおよび200mmまでのフィールドサイズがあります。露光時間は10ミリ秒と短く、5nm以内で再現性を発揮します。ASML XT 1400Eは、ウェーハ上で画像や露出に抵抗するように特別に設計されています。また、複数の露光ダイの自動アライメントと、デザインから90以上のパターンのオーバーレイが可能です。これにより、複雑なリソグラフィック露出レシピの必要性が減ります。XT 1400Eは、露光結果の表面粗さを低減するために高度な照明装置を使用しています。これは、ハイパルスレーザーと「Super High NA」 （SHNA）オフアクシス照明システムを使用して可能になります。これにより、露光強度を動的に制御し、イメージングと露光精度の両方のダイナミックアライメントを可能にします。ASML XT 1400Eには、安全機能もいくつか組み込まれています。露光場所での内部レーザーインターロックにより、レーザー露出のリスクを低減し、衝突検出ユニットが露光要素の予期しない動きをチェックします。さらに、XT 1400Eは、動作中に最適な動作温度、湿度、および空気品質を維持するために、組み込みの環境制御マシンを備えています。結論として、ASML XT 1400Eは高度で洗練されたウェーハステッパーであり、ウェーハ上で画像や露出に抵抗して細線回路、機能、相互接続を作成する機能を備えています。その組み込みの安全機能、高度な照明ツール、および環境制御資産は、シームレスで正確な動作時間と時間を繰り返し確保します。