中古 ASML XT 1400E #293825230 を販売中

ASML XT 1400Eは、フォトリソグラフィーアプリケーション用に設計された高度なウェーハステッパーです。真空レベルのウェーハステッパーであり、柔らかいX線と電子ビームマスクの高精度な露出のためのユニークなモジュラープラットフォームで動作します。この適応性の高い装置は、優れたアライメントとプロセスの再現性により、さまざまなタイプの基板に対応し、プロセス要件を低減することができます。XT 1400Eは、回転と傾きに加えて、マスクチャックの横方向の動きを可能にする特別なX線マスキングシステムを備えています。これにより、マスクをユニット内で最適に配置できます。さらに、X軸とY軸に沿って幅広い加速と減速を提供し、マスクの迅速かつ正確な移動を可能にします。ステッパーは、自動アライメントとフォーカス制御、高い位置分解能、正確なスポットアライメントも備えています。ステッパーは、高性能モーションコントロールツールによって駆動される6軸の電磁運動設計を利用しています。誘電体電界放出電子銃と正確なスポットコントロール機能を備え、迅速かつ正確なマスクアライメントを実現します。また、マスクや基板の形状の変化を検知・検出できる高度な視覚ガイダンスアセットを搭載しています。ASML XT 1400Eウェーハステッパーは、ベンチトップと生産構成の両方で利用できます。モデルはまた特定の適用必要性に従ってカスタマイズすることができるいろいろな光学およびソフトウェアを提供します。装置の進歩により、XT 1400Eは多くのフォトリソグラフィー用途に適したウェハステッパーとなっています。マスク使用率を向上させるための精度と再現性を向上させ、スループットを向上させ、生産サイクル時間を短縮します。そのため、高精度・高解像度が求められる用途に最適です。