中古 ASML XT 1400 #9304319 を販売中

ASML XT 1400は、半導体リソグラフィに使用される光学ステッパーです。深紫外線（DUV）用途向けに特別に設計されています。ステッパーは200mmまでのサイズの正確なパターンのウェーハをでき、マスクおよびレチクルの生産のための信頼でき、有効な用具です。このマシンは高いスループットを持ち、デバイス製造の速度と品質を向上させるように設計されています。その結果、市場投入までの時間を短縮し、ウェーハ製造の歩留まりを向上させます。ステッパーには2つの段階があります。1段目はマスクアライメント、2段目はウェーハアライメントに使用します。全画像分解能は0。8ミクロンです。XT 1400は、1010mmまでの広い視野を備えており、より大きなオブジェクトを処理することができます。それは非常に効果的であり、0。7ミクロン未満のオーバーレイ精度を生成することができる機械装置を持っています。これにより、正確なパターニングと高い収率が可能になります。また、高度な露出制御システムを備えており、プロセスパラメータの変動を低減し、露出フィールドにわたって均一な線量を維持します。ステッパーには低い歪みスキャナがあり、画像のぼかしや歪みを最小限に抑えるのに役立ちます。また、レジストコーティングモジュールとスピンプロセッサを組み合わせて使用することができ、コストの削減と効率の向上に役立ちます。また、焦点と照明の安定性のための安定化ユニットを備えており、結果が一貫して正確であることを保証します。ASML XT 1400は、高いスループットと精度で高解像度のイメージングが可能です。高度な光学、機械、環境に優しい照明ツールを組み合わせることで、高精度パターニングに最適なツールです。この機械は使いやすく、メンテナンスも簡単で、信頼性の高い性能により、ウェーハの歩留まりが最大化されます。