中古 ASML XT 1400 #9259958 を販売中

ASML XT 1400は、シリコンウェーハ上の高度なデバイスを正確にパターン化するために半導体業界で使用されるウェーハステッパーです。このマシンは、現場で利用可能な最高のスループットを提供し、3,000 0。25ミクロンの露光層を単一のレシピで提供できます。すべての露出マスクの総精度を保証し、最高のオーバーレイスループットは15ナノメートルです。XT 1400は、高いフラックス出力を備えた包括的な低電圧照明スキームによって駆動され、消費電力を最小限に抑え、パターニングの忠実度を最大化します。また、露光システムは高度なソフトウェアスイートと光学サブシステムを備えており、デバイスのパターニング効率を最大限に高めています。ASML XT 1400は、高度に最適化されたマスク処理アルゴリズムとレイヤー最適化方法を備えており、リソグラフィーサイクルタイムで最適な結果を得ることができます。このマシンは、製造されるデバイスのサイズに応じて調整される自動開口処理システムを備え、最高のスループットレートを備えた途切れないウェーハパターニング用に設計されています。さらに、XT 1400はパッシブ冷却と温度補償を備えた堅牢な熱構成を採用し、層の均一性とゼロドリフトフォーカスを確保しています。高度なリソグラフィーシステムに加えて、ASML XT 1400はあらゆる位置または向きに複数のビームを使用して、製造をまったく新しいレベルの洗練されたものにします。次世代のAuto Alignmentツールにより、露出したウェーハと元のマスク層を比較し、優れた性能の再現性を実現します。XT 1400は市場で入手可能な最高性能のステッピングツールであり、卓越したスループット、信頼性、精度で次世代の結果を提供します。この機械は、そうでなければ不可能だったであろう装置製造工場で生産ラインを確立する能力を持っています。