中古 ASML XT 1250D #9391534 を販売中

ASML XT 1250Dウェーハステッパーは、マイクロエレクトロニクス製造プロセスを高速化するために設計された超高性能リソグラフィ装置です。短波長248nmのKrFレーザー投影システムを使用し、0。13ミクロンの解像度で印刷画像を生成することができます。このマシンは、完全にロードされたスキャナユニットのイメージング性能と臨界次元の原子力顕微鏡の速度を組み合わせています。このマシンは、一貫した信頼性とスループットを維持しながら、精度を0。13ミクロンまで解決することで、集積回路、MEMSおよびオプトエレクトロニクス部品の回路パターンの生産を容易にするように設計されています。5軸ロボットウエハステージと2次元シリコンレチクルマスクステージを備えています。マスクステージは15。2mm/sの速度で2軸で移動でき、ウェハステージは11。2mm/sの速度で5軸で移動できます。ウェーハステッパーには、温度制御、エアフィルトレーションシステム、アクティブ窒素システムを備えたオンボードクリーンルームもあります。機械の光学機械は光学レーザー源、コンデンサーの光学カメラおよびイメージ形成レンズを含んでいます。さらに、機械のフィールドステッチ機能により、異なる基板上にパターンを形成することができます。XT 1250Dウェーハステッパーには、ウェーハスキャンと露出時に再現性と正確なアライメント精度を保証する高度な安定化とアライメント機能が付属しています。また、ステップハイトを測定できる改良されたナノメートル解像度センサー、およびアライメントおよびクリティカル寸法機能も備えています。さらに、ステッパーは高精度のメータリングツールを備えており、高アスペクト比の金属線と接点に対応できます。ASML XT 1250Dウェーハステッパーは、集積回路、MEMS、オプトエレクトロニクス部品のさまざまな要件に使用できる強力で効率的なリソグラフィーツールです。優れたイメージング性能、クリーンルーム環境、および信頼性の高いスループットにより、ウェーハ上の回路パターンを大量に生産できます。この機械は半導体、MEMSおよびオプトエレクトロニクス産業の企業そしてR&Dの組織にとって理想的です。