中古 ASML XT 1250D #9366114 を販売中
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ASML XT 1250Dは、深紫外線（DUV）リソグラフィープロセス用に設計されたウェハステッパーです。レーザー、レチクル、レンズを含む3つの光学部品を調整し、1桁のナノメートル精度で洗練されたマイクロチップパターンを作成します。それは優秀な動的ビーム制御を業界をリードする照明の均等性および速いスキャン時間に与えます。XT 1250Dは、最大速度7mm/sの1600mm角フレームで構成されています。これは、振動絶縁、3つのクローズドループ空気軸受システム、およびZバス統合が装備されています。また、15ナノメートルの精度を維持しながら、最大420cmの長距離スキャンも可能です。さらに、カッターは直径125mmから300mmまでのさまざまなウェーハサイズを処理するためにカスタマイズすることができます。ASML XT 1250Dで見つかった光学アレイ・モジュールには、4つの主な目的と2つのサブ目的と1つのレチクル目的が含まれています。特別な2X 0。5 NA 0。400 AR1を搭載し、ウェーハ全体に均一な照度を提供します。さらに、液晶（LC）レンズは、アプリケーションの必要性に応じて光を変調するためにオブジェクトと生徒の間に配置されます。XT 1250Dは、さまざまな加工段階においてパフォーマンスと精度を提供するように設計されています。独自のダイナミックビームコントロール（DBC）システムを備えており、より高いフレームレートとより速い露出時間を実現します。さらに、この製品は20nmという小型の機能を生成することができ、今日の高度な半導体プロセスに最適です。ASML XT 1250Dは、大量生産設備で日常的に使用されている最先端の機器の業界をリードする製品です。性能、精度、信頼性を兼ね備えているため、高度なリソグラフィープロセスに最適です。
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