中古 ASML XT 1250D #293624486 を販売中

ASML XT 1250Dは、半導体デバイス製造用に設計されたウェーハステッパーです。超微細機能処理が可能な4トラック装置です。このシステムは、LaserRay Reflex 3レーザー光源を使用しており、250nm〜1700nmの露光が可能で、405nmの波長を持つ高感度イメージングヘッドを内蔵しています。200mm x 300mmマトリックスは、0。2マイクロメートルのピクセルサイズの高解像度画像を処理できるため、高度な半導体部品のサブミクロンパターンが可能です。また、インテリジェントなオーバーラップ制御、パターンマッチング、フィールドマッチングなどの高度な設計機能を備えており、半導体ウェハ上にイメージングヘッドを正確に配置できます。さらに、ビームトラックとフォーカス制御ツールを使用すると、画像ビームの正確な配置とフォーカスが可能になります。XT 1250Dは、最先端のサーマルイメージャを使用してコントラスト解像度を向上させ、最大動作温度は370°Cです。さらに、マイクロ線量、ハイビーム電流モニタ、リアルタイムフォルト監視、5レベル安全インターロックモデルなど、さまざまな安全機能を備えています。さらに、再現性と再現性のレベルで高精度のステージを備えています。光学アライメント顕微鏡を使用して精度と検証を行い、ウェハが正方形でステージを中心としていることを確認します。さらに、最大3台のオートメーションロボットでシステムを構成することができ、プロセスのスループットを高速化し、マシンリソースのより良い利用を可能にします。最後に、高精度なステッパー性能と信頼性のニーズが高まっているASML XT 1250Dは、リアルタイムユニット監視を提供するために最適化された独自の通信リンクを通じて、これらの要求を満たしています。このマシンは、内部ネットワークと統合することもでき、データ分析とリモートプロセス監視を可能にします。全体として、XT 1250Dは、微細加工および半導体デバイスの生産において、高い生産性、高精度の環境を提供します。