中古 ASML XT 1250D #293623548 を販売中

ASML XT 1250Dは、半導体ウェーハの大容量リソグラフィに使用される完全なフィールドステップアンドスキャン装置です。XT 1200シリーズアーキテクチャに基づいており、さまざまな顧客のリソグラフィーのニーズに合わせた幅広いアプリケーションを提供しています。この機械は、高度なオーバーレイと過剰露出制御を備えた高密度パターンを生成することができます。高いスループット、低い所有コスト、優れたスループット性能を実現するように設計されています。XT 1250Dは、数値絞りの高い最先端の光学システムを備えており、優れた解像度と画質を提供します。シングル、ダブル、トリプルの3種類のフォトレジストに対応しています。また、安全性とフォールトトレランス機能を内蔵した高度なウエハハンドリングユニットを備えています。ステッパーは、高い機械的完全性と安定性を維持するように設計されており、ユーザーフレンドリーな診断および制御システムが装備されています。また、ハイスループット、安定したパターニング、高速視野スイッチングを可能にする高度なステージおよびイメージング制御マシンを備えています。リソグラフィー光学系は、高度なレーザーアライメントとメンテナンス機能により、パフォーマンスが向上します。このツールは高度に自動化されており、シングルからマルチフィールドの露出を容易に実行できます。ステージ軌道制御は、高精度のスキャンサーボとレーザーアライメントに基づいており、高速かつ正確なアライメントを可能にします。ASML XT 1250Dの組み込みソフトウェアとアーキテクチャは、高性能、再現性、均一性を確保するためにプログラムされています。信頼できるデータ管理とプロセスパラメータへの容易なアクセスを提供し、時間を節約して再現性を高めます。外部ハードウェアを統合して、環境と熱安定性を向上させることもできます。このマシンはまた、最適な線量制御のための拡張可能な出力電力を提供します。全体として、XT 1250Dは強力で高精度なステップアンドスキャンアセットであり、さまざまな光学制御によるフォトリソグラフィープロセスに対応できます。その高度な光学系は幅広い露光範囲に対応でき、組み込みソフトウェアはユーザーフレンドリーな操作、高速スループット、信頼性の高いパターニングを提供します。