中古 ASML XT 1250B #9383217 を販売中

ASML XT 1250Bは、半導体業界のリソグラフィ用に設計されたウェハステッパーです。半導体ウェーハへの効果的なパターン転送を実現し、デバイス性能の向上と生産性の向上を実現します。このウェーハステッパーは、さまざまなレンズ技術を使用して、画像ビームをウェーハ表面に正確に集中させ、パターンの正確な配置と複製を可能にします。ASML XT:1250Bプラットフォームは、EUV/DUVや複数の露光フィールドなどの高度なレンズ技術を利用することができます。特許取得済みのデュアルレベル真空システムを使用して、さまざまな基板サイズに対応し、柔軟なデバイス生産を実現するデュアルステージウェーハステッパーです。モジュラー設計で構築されており、大量生産のために迅速に構成および再構成することができます。また、XT 1250Bはサブミクロンの高解像度投影光学系を採用し、0。2〜1。2 µmの線幅のパターンを生成することができます。このウェハステッパーには、真空/差動ローディングシステムとカメラのオートフォーカスが搭載されており、高精度なアライメントを実現する独自の構成で、イメージング対物レンズとカメラレンズを組み合わせています。粒子発生を低減し、ステージ間の汚染のないイメージングのバランスを改善するように設計されています。XT:1250Bは、低騒音のステッピングコントローラとモータドライバも備えており、正確な基板位置決めのための信頼性の高いインクロッキングを提供します。ASML XT 1250Bは、画像比較および測定制御のための画像処理ソフトウェアを利用して、集中的なパターンオーバーレイアライメントを実行することもできます。この機械は高度な画像解析を使用して配置の不一致を減らすように設計されています。要約すると、ASML XT:1250Bはリソグラフィ用に設計された強力なウェーハステッパーです。デュアルステージ設計、高度なイメージングオプティクス技術、最適化されたセンサシステムにより、汚染を最小限に抑え、検出精度を向上させた正確なパターンを生成できます。この機械の非常に効率的な処理は大量生産および精密な装置製作の両方にとって理想的です。