中古 ASML XT 1250B #9293432 を販売中
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ID: 9293432
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
ArF Scanner, 12"
SECS, GEM
FOUP
ASML Reticle handler
ASML Wafer handler
Operating system: OIU Unix
CYMER XLA-165 Laser
Main distribution cabinet
(2) Electro cabinets
Exhaust cabinet
Lens circuit water cabinet
Motor circuit water cabinet
Air control cabinet
Purge hood blower
2005 vintage.
ASML XT 1250Bは、サブミクロン技術のための半導体やその他の集積回路の高性能、精密アライメントのために設計された、高度に専門化されたウェーハステッパーです。この10ゾーンステッパーにより、直径12インチまでのウェーハの正確な精度と生産速度を実現します。特許取得済みの「平面内」スキャン技術を備えており、機器は非常に均一で滑らかな表面を持つウェーハを迅速にスキャンして提供することができます。ステッパーはまた、生産中に正確な位置決めと追跡を可能にする高度な5軸アライメントシステムを備えています。ASML XT:1250Bは、6ミクロン分解能と254 nm波長の高分解能スキャンヘッドを使用してスキャン中の地形検出を行います。高解像度の光学系とモータ制御は、非常に滑らかな位置決め動作を提供し、生産の精度と速度の両方を向上させます。光学系と高解像度スキャナを組み合わせることで、生産中にウェハレベルのレーザー検査を行うことができます。このユニットは、強力で効率的な1。4 GHz Intel Pentiumプロセッサを搭載し、32ビットのWindows 98オペレーティングマシンで動作します。このツールを使用すると、最大4台のPCを接続できるため、簡単に拡張でき、非常に大きな生産ジョブを実行できます。XT 1250Bはまた、組み込みのオートメーション資産を使用して生産を自動化および制御する独自の能力を提供します。自動化モデルは、データ分析、レシピ制御、カメラとスキャナーのアライメントを可能にします。オートメーション機器は、より柔軟性とさらなるオートメーション機能を提供するためにアップグレードすることができます。XT:1250Bは、高速生産と精度を提供する最高級のウェーハステッパーです。初期コストは高いかもしれませんが、半導体やサブミクロン生産において高精度を必要とする企業は、高速な運用と自動化のおかげで長期的には大幅に節約できます。
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