中古 ASML XT 1250 #9293667 を販売中

ASML XT 1250は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造のための高精度フォトリソグラフィを提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。0。25マイクロメートルの解像度でウェーハを撮影できるスキャン顕微鏡です。ステッパーは、290nmのUV短波長レンジ用に特別に構成されており、高精度でナノ構造の特徴を撮影することができます。ASML XT1250は、メインベースステージとセカンダリサブステージの両方を備えたデュアルステージシステムです。この組み合わせにより、高速スキャン時の安定性を確保し、鮮明な画像パターンを実現します。メインベースステージはモーションコントロール用のピエゾエレクトロニクスに依存しますが、サブステージではクローズドループのフィードバックモーターを使用して正確な位置決めを行います。XT 1250は、アクティブなデバイスのアライメント機能も備えており、隣接するデバイスの位置をナノメートルの精度で確認します。このマシンにはレーザーベースのZernike干渉計が搭載されているため、露光レベルを低減して非常に正確なイメージングとパターニングが可能です。この低消費電力レーザーは、サーマルドリフトによる人工物のイメージングの可能性を排除します。さらに、ステッパーには現場でのウェーハイメージング機能が搭載されており、イメージングエラーをリアルタイムに検出し、ユーザーがそれに応じて調整することができます。XT1250は、高度なプロセス制御と光学ソフトウェアも備えており、レンズの挙動、粒度分布、画像解像度に関する情報をユーザーに提供します。さらに、このソフトウェアを使用すると、フォーカスや数値絞りなどの重要なパラメータを調整して、プロセスのパフォーマンスを最適化することができます。最後に、このシステムには、潜在的な危険から保護するために、物体検出や目の保護などのさまざまな安全機能が装備されています。全体として、ASML XT 1250は、精密なイメージングと高度なプロセス制御を保証する幅広い機能を備えた強力なウェーハステッパーです。