中古 ASML Twinscan XT2 1700FI #293620719 を販売中
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ID: 293620719
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
Stepper, 8"
Notch wafer
CYMER XL 360 Laser
DNS / DAINIPPON RF 300/200 Wafer track interface
Chemical sampling port
Water cooling for electric cabinet
Universal pre-alignment
Mark sensor
Integrated reticle library
IRIS Reticle, 6"
Recipe creator
EFESE
Polarization metrology
Image tuner
Grid mapper
Dose mapper
AGILE
Lithocruiser
Carrier interface: 25-Wafer open cassette kit
Oiu / Reticle: Right configuration
Power supply: 400 V
2007 vintage.
ASML Twinscan XT2 1700FIは、高収率チップ生産用に設計された最先端のウェーハステッパーです。最大ライン幅350 nmで、1時間あたり最大4。25ミルウェーハを生産することができます。ウエハスケールは200mmから450mmの範囲で、幅広いチップの最適な生産を可能にします。XT2 1700FIは、ユーザーが正確に線量分布とアライメントを制御することができるASML AArrid™露出制御装置の周りに構築されています。このシステムは、独自の高速スキャンアルゴリズムを使用しており、露光時間を短縮します。その小さいスキャンサイズは、より薄いラインとより良いエッジの能力を可能にします。露出パワーも調整可能で、ユーザーは正確な精度でチップを生産することができます。XT2 1700FIにはアクティブエラー補正ユニットも付属しており、処理のバリエーションや振動によるずれを軽減します。このマシンは、最大25％の誤動作を低減すると推定されています。XT2 1700FIには、フィードバック管理のためのデータ収集とレポート作成を自動化するために設計されたASML品質保証ツール（QAS）もあります。この資産により、チップメーカーは生産プロセスを最適化するために生産データから学ぶことができます。XT2 1700FIはクリーンルーム環境での使用を想定して設計されており、285nm〜455nmの波長範囲で動作可能です。また、ステージエラーやミスアライメントを補正する柔軟なプリアライメントサブシステムを搭載し、マルチダイヤアプリケーションにも対応しています。XT2 1700FIは信頼性が高く、MTBF間の平均時間は1,000,000露光である。さらに、制御性が高く、アクティブなウィルトカバレッジは94。1％、 Q値は5。04です。結論として、ASML TWINSCAN XT 2 1700 FIは、幅広い機能と機能を提供し、高収量チップの生産に信頼性と費用対効果の高い選択肢となります。
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