中古 ASML Twinscan XT 1700i #293812028 を販売中

ASML Twinscan XT 1700iウェーハステッパーは、半導体ウェーハに精密なパターンを作成するために使用される高度で高解像度のリソグラフィ機械です。本装置は、多種多様なイメージング技術と照明技術を駆使し、様々な素材やレイヤーで基板を加工します。高度なTwinscan XT 1700iには、独自のプラズマソース液浸リソグラフィ（PSIL）が搭載されています。これは、より大きな基板上にパターンを作成するための非常に効率的で費用対効果の高いプロセスです。PSILは、高いスループット率を維持しながら、ファインフィーチャーの正確なイメージングを可能にします。また、Lighthouse Optics Systemを使用して、広い領域に均一な照明を提供し、より正確で正確な画像処理を可能にします。ASML Twinscan XT 1700iは、x、 y、 z軸の大きな基板を3次元でスキャンすることができる業界をリードするZ-スキャナーを備えています。この精度の向上により、基板全体がキャプチャされ、結果として生じる欠陥が最小限に抑えられます。さらに、ウェーハメディアハンドラは、最大7個の6インチおよび8インチ（200mm）のウェーハを同時に処理できます。Twinscan XT 1700iは、最大25nmのサイズに達する優れた機能解像度で、迅速かつ正確にデータを取得できます。また、KrF、 ArF、高数開口オフアクシスイルミネーション、PSIL露光などの照明タイプを組み合わせて実現し、鮮明さとディテールを大幅に向上させた幅広い露光を誇っています。最後に、ASML Twinscan XT 1700iは、独自のNano-Tempo Power Conservation Technologyによりエネルギー効率に優れています。これにより、マシンは電力消費を最小限に抑え、速度をさらに向上させるために適切な電力量を使用することができます。Twinscan XT 1700iは、高精度なイメージング、エネルギー効率、高精度な機能分解能を組み合わせることで、高速半導体ウェーハの製造に最適なツールです。