中古 ASML Twinscan XT 1700i #293652050 を販売中
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ID: 293652050
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
ArF Scanner, 12"
SMIF / FOUP
Projection lens
Material / Chemical: Align
Load Module: EFEM
Process module:
Wafer stage
Reticle stage
Wafer handler
Reticle handler
AOM Laser
Bottom module spacer
EIM
ELEC
Utility:
CYMER XLA360 Excimer laser
BSM
ACC
ENTEGRIS E51004802 Charcoal filter
AERONIX EGPS
MCWC
LCWC
WSRC
RSRC
MDC
WICC
WISC
2006 vintage.
ASML Twinscan XT 1700iウェーハステッパーは、精度とディテールに優れたウェーハを製造するために設計された高度なウェーハ加工機です。幅広いウエハサイズの加工が可能で、高精度かつ再現性に優れ、極めて微細なフィーチャーサイズのデバイスを幅広く生産することができます。XT 1700iは、高性能、高速精密モータおよび関連する運動機器によって駆動されます。これにより、スキャン範囲全体で高速かつ一貫した動きが可能になり、高い精度を確保できます。そのモーターは、最大300ナノメートル/秒の最小振動と連続スキャン速度を確保するように設計されています。また、さまざまなウェーハや生産工具のニーズに合わせて、迅速かつ簡単に適応することができます。また、先進的なウエハハンドリングシステムを搭載しています。これにより、ウェーハの高速かつ効率的なロードとアンロードが可能になり、ウェーハの正確なアライメント、間隔、傾き調整が可能になります。また、特殊なパターントラッキングアライメントユニットを備えており、各ウエハに必要なパターンが正確に複製されます。XT 1700iには、高度なフォーカス制御アルゴリズムと高速イメージング技術も搭載されています。これらの機能は、DRAMや3D構造などのパターン化が困難な基板でも、非常に高いレベルの性能を発揮します。XT 1700iには、出力ウェーハが厳しい基準を満たしていることを保証するために、さまざまなハイテク計測技術があります。外観計測機、スペクトル計測ツール、フルプロフィロメータなどがあります。このアセットにより、ウェーハの表面品質と小さなデバイスの重要な機能サイズを高精度に測定できます。さらに、XT 1700iは高度な環境制御モデルを備えています。この装置は、高度なアクティブクーリングシステムを使用して、マシンが最適な温度で動作し、ウェーハがほこりやその他の汚染物質から保護されていることを保証します。Twinscan XT 1700iは、極めて先進的なウェーハ加工機で、高精度で高品質なウェーハを製造することができます。幅広い用途での使用に適しており、高度な計測および環境制御システムにより、最高水準の品質と信頼性を満たしています。
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