中古 ASML Twinscan XT 1400F #9143647 を販売中
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ID: 9143647
ウェーハサイズ: 12"
I-line wafer stepper, 12"
ArF Exposure tool
Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1
193nm scanner
Photo module
Equipment type: PS-ARF
Missing parts:
Spare assy, auto shutter
Spare assy, beam reverser
Power supply assembly, DC
Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A
Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR
(ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM
Spare,line narrowing module,LNM ,45x
WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy
Blower motor assy
ACC MK4 Clean air fan
SPM RS Encoder head top mnt Y1
(2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn
Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule
(2) Commutators
OC ( ArF)
Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber
Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber
WH SHB II Assy
MPCR (meas.pos.control rack)
Assy, CAN controller module, lower left optics
Power amp controller PPCA
WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)
WS Type 3+4 open X-beam assy
Spare assembly, MO web
Spare assembly, PA web
Spare, mechanical assy, ISS
DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO
Aerial-P XT: 14X0 FO
DOE 193P ID8 MP2 90-X FO
DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO
DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO
Recipe creator light FO
Exposure FO
Integrated reticle library FO
AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO
IRIS for Twinscan, 6" FO
Reticle CIDRW hermos (RF) FO
24-Character barcode reader Twinscan
Second laser paddle cymer
ESI EX2600 Hybrid
2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400Fは、集積回路の製造に使用するフォトマスク上の小さな機能をパターン化するために使用される世界をリードするウェーハステッパーです。Twinscanは、特許取得済みの1対1の比率を使用して、ウェーハステージを高速かつ均一に移動させる独自に設計されたステップとスキャン動作に基づいています。Twinscan XT-1400Fは、競合するステッパーよりも広い面積のフィールドサイズを誇り、単一の露出で1つの基板に多くの機能を印刷することができます。ASML Twinscan XT-1400Fは、高解像度スキャンArtem技術を統合し、優れたスループットと少ない偽エッジを実現します。振動のない設計により、最高精度の位置決めが可能であり、5ナノメートルの小さい機能を印刷することができます。Twinscanは、シリコン、石英、マイラー、および様々な多層基板を含む基板の範囲をサポートしています。Twinscan XT-1400Fは、反応性ガスの高温脱進機を備えた安定性の高いマルチガスチャンバーを備えており、最適な処理時間と均一な最終微細構造を提供します。さらに、光学&偏光器システムは、システムが正確な偏光制御、高スループット、優れた画像品質を達成することを可能にします、ローマスウェーハステージは、振動から画像のぼやけを排除しながら、。ASML Twinscan XT-1400Fは、幅広い露光パラメータをサポートし、高解像度の画像を非常に高速で一貫して生成することができます。さらに、Digital MicroScannerソフトウェアは、システムの操作の容易さと正確な機能を可能にします。最後に、Twinscan XT-1400Fのリバーススキャンアーキテクチャは、フォトマスクと基板上の粒子汚染の低レベルをもたらします。全体として、ASML Twinscan XT-1400Fは、優れた画像解像度、優れたスループット、電力効率、最小の粒子汚染のユニークな組み合わせを提供する最先端のウェハステッパーです。集積回路上の微細な特徴を作成するのに理想的であり、その豊富な機能技術により、さまざまな基板に適しています。
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