中古 ASML Twinscan XT 1400F #293817723 を販売中
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ASML Twinscan XT 1400Fは、業界をリードする半導体製造およびリソグラフィ機器メーカーであるASMLによって設計されたウェハステッパーです。XT 1400FはASMLによって生成されるプラットフォーム技術の第4世代であり、高度なメモリ、高度なCMOSロジック、RFデバイス、およびIII-Vロジックおよびパワーデバイス製造のための包括的なリソグラフィーソリューションであるように設計されています。XT 1400Fウェーハステッパーは、半導体産業で実現できる最高の分解能を実現するために最大0。75までの数値開口(NA)を使用しています。XT 1400Fは、広いレンズ範囲を備え、1450mmまでの最高範囲で幅広い焦点距離の機能が可能です。この幅広い焦点距離により、さまざまなウェーハサイズや幅広いプロセスノードへの適用が可能です。XT 1400Fは、高い数値絞りに加えて、高速で動的な同期モータを介して信頼性と再現性の高い位置決めを実現します。モーターは0。5ナノメートルの高分解能で設計されており、従来のステッパーよりも高い精度が得られます。XT 1400Fの低騒音、低振動設計は、サブノード22nmの高精度アプリケーションに最適です。その高度なマスク処理技術は、正確で信頼性の高いオーバーレイ測定を提供し、頻繁にマスクを変更するための一貫したプロセス結果を保証します。XT 1400FはASMLの最新のトラックエイジ技術とプロセスの再現性を取り入れており、市場で最高品質のステッパーとなっています。また、マルチゾーンUVソース設計により、非常に短いパルス照明時間を提供し、クリティカルな寸法制御を向上させます。XT 1400Fには、IQCAS (In-line Quality Controllable Assisted Stepper)-ASML独自の迅速な調整システムがあり、迅速なサイクルタイムとコスト効率の高いスループットを実現します。IQCASを使用すると、インラインスキャナが提供する画像測定や照明設定を微調整することで、サイクルタイムを自動的に最適化できます。全体として、Twinscan XT 1400Fウェーハステッパーは、高度なメモリ、CMOSロジック、RFおよびIII-Vロジックおよびパワーデバイスの製造に、信頼性が高く、高品質で専門的なソリューションを提供します。
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