中古 ASML Twinscan XT 1250D #9207817 を販売中

ASML Twinscan XT 1250Dは、集積回路の製造に使用されるウェーハステッパーです。半導体ウェーハ上に複雑な集積回路パターンを生成できる高度なフォトリソグラフィ装置です。ASML TWINSCAN XT:1250Dは、感光性抵抗を暴露するために使用される4チャンネルレーザーを使用します。レーザーは、最大解像度25 nmの4つの象限からの露出を生成します。ステッパーはまた、高速スキャン速度を提供し、加速度は2 m/2s²、最高速度は100 kHzです。これにより、TWINSCAN XT 1250 Dは、単一のプロセスを完了するのに数分かかる競合システムと比較して、数秒で完全なステッププロセスを完了できます。ステッパーは、フィールドサイズ150 mm以上の0。15 µmの非常に正確なアライメント精度も提供します。これにより、ウェーハの端に印刷された機能が正確であり、意図したパターンから逸脱しないことが保証されます。TWINSCAN XT:1250Dのもう1つの利点は、チューニングプロセスを自動化することです。そのアルゴリズムにより、システムはパラメータを最適化し、それに応じてプロセスを調整し、繰り返し可能な結果を得ることができます。これにより、ユニットの最適化に必要な手動ステップが削除され、生産性が向上します。Twinscan XT 1250Dは、柔らかい紫外線から硬い紫外線の範囲で動作することができ、さまざまなレジストや基板で動作することができます。この汎用性により、ステッパーは幅広い生産ニーズに適しています。ASML TWINSCAN XT 1250 Dは24時間メンテナンスなしで動作するように設計された信頼性と耐久性の高いマシンです。また、高度な診断インターフェースを備えているため、メーカーはツールのステータスを積極的に監視し、必要に応じて変更を加えることができます。全体として、ASML Twinscan XT 1250Dは信頼性が高く効率的なウェハステッパー資産であり、半導体ウェハ上の複雑な集積回路パターンを精度と精度で生成することができます。高速スキャン、自動チューニングプロセスを提供し、柔らかい紫外線から硬い紫外線の範囲で動作するため、さまざまな生産ニーズに適しています。