中古 ASML Twinscan XT 1250D #293666937 を販売中

ASML Twinscan XT 1250D
ID: 293666937
ArF Scanner 193 nm.
ASML Twinscan XT 1250Dは、マイクロエレクトロニクス業界で使用される基板の高精度なデジタル画像を生成するように設計されたウェハステッパーです。すばやくステップスルーし、複数の基板を一度にスキャンすることができ、優れた精度を得ることができます。ASML TWINSCAN XT:1250Dに1250mmのスキャン場があり、17µm/pixelまでの解像度を達成できます。ウェーハステッパーの主なコンポーネントは、光学系、コントローラ、ステージです。高解像度光学系は、1250mmのスキャン場、2/3rdsの数値絞り、対物レンズで構成され、最大17µm/pixelの解像度で画像をスキャンすることができます。コントローラには、タッチスクリーンユーザーインターフェイス、CCD検出器アレイ、高速表示および制御PCが含まれています。ステージは、直径125mmまでの基板に対応可能な、完全にプログラム可能なX-Yポジショナーです。TWINSCAN XT 1250 Dは、精度とイメージングを向上させるための多くの機能を採用しています。波面品質管理システム、さまざまな基板サイズと厚さに対応するキャリブレーション機能、イメージングパラメータを最適に設定するオートセットアルゴリズムなどがあります。照明ソースの選択と監視、および自動アライメントルーチンを使用することで、複数の基板を一度に配置することができます。ウェハステッパーは、Twinscan生産およびデータ管理ソフトウェアと連携して動作します。このソフトウェアは、コントラストや明るさなどの特定のパラメータを制御することができます。また、バッチサイズ、基板タイプ、実行時間に関する指示を簡単に入力できます。ソフトウェアは簡単にスケーラブルで、複数のスキャンおよびイメージングフォーマットをサポートしています。TWINSCAN XT:1250Dはあらゆるマイクロエレクトロニクスの実験室のための必要な装置です。非常にユーザーフレンドリーで堅牢で、鮮明な精度と画像解像度を提供し、業界の要求に適しています。
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