中古 ASML Twinscan XT 1250D #293602263 を販売中

ASML Twinscan XT 1250Dは、300mmウェハアプリケーションの生産要件を満たすように設計された高度で高精度で汎用性の高いウェハステッパーです。フォトレジストから金属まで幅広いリソグラフィー層に対応可能です。高精度リニアモータドライブと高解像度エンコーダを備えた高速1250mmスキャンステージを備えており、正確な位置決めが可能です。最大ステージ速度は450mm/sで、10nmレベルでの再現性があります。ASML TWINSCAN XT:1250Dは、非常に大きく、高解像度の11µmスリット・プロジェクターを備えており、光学解像度は1nmを超えています。高解像度は、DCM （Dot Calibration Method）とデュアルオーバーレイエンジンを使用することで実現されます。さらに、最大4つの光源を管理できる強力なIllumination Control （IC）パッケージと、厳しい照明環境を備えています。TWINSCAN XT 1250 Dは、大きなダイサイズに対応するためにカスタマイズすることができ、大きな、柔軟性、非重なりウエハフィールドを持っています。このシステムは、一度に最大15個のウエハを処理することができ、さまざまな基板で作業することができます。シリコン、ゲルマニウム、ポリシリコンからエピタキシャル層まで。さらに、ユニットは、ウェーハサイズの範囲を扱うことができます。5インチから14インチのウエハ。Twinscan XT 1250Dは、複数の顕微鏡、光機械部品、モーター、センサーの高度な機能と拡張性を提供する高度な制御マシンを搭載しています。高速かつ正確なリソグラフィを容易にするように設計された高度なソフトウェアツールとプロトコルが付属しています。Diagnostics、 Proactive Process Control （PPC）、および振動のない送り装置を内蔵しているため、機械の操作とメンテナンスが簡単です。ASML TWINSCAN XT 1250 Dツールは、資産の適切なパフォーマンスと寿命を確保するための包括的なサービスのセットによってサポートされています。これらには、現場での立ち上げと試運転、モデルメンテナンスとサポート、交換部品、トレーニングが含まれます。さらに、ASMLは、装置がその性能要件を満たしていることを保証する性能保証を提供します。