中古 ASML Twinscan XT 1250 #9268786 を販売中

ASML Twinscan XT 1250は、UV画像を提供し、集積回路のリソグラフィを支援するエキシマ波長スキャナです。これは、主に大量のリソグラフィックマスターを作成するためのウェーハ製造プロセスで使用されます。ASML TWINSCAN XT:1250は2ミクロンの分解能を持ち、1時間あたり最大1250個のウェーハをスキャンします。これにより、ウェーハのハイエンド生産に適した効率的なツールとなります。Twinscan XT 1250のレーザーアライメント装置は、精密で高性能なスキャンを提供するように設計されています。スキャナの位置決め精度は5ミクロンで、可用性は98％です。6xパターンのプリアライメントシステムと5ミクロンのプリアラインユニットを備えているため、最小の機能でも正確に配置できます。新しい3スライド5軸設計により、より高い精度と柔軟性が保証されます。TWINSCAN XT:1250はレーザーイルミネーターを使用して、犠牲層の露出に使用される短い紫外線パルスを作成します。この光のパルスはウェーハに向けられ、パターンが揃っている間にウェーハが露出します。これにより、アライメントの精度が維持され、正確な結果が得られます。フロントエンド計測ステーションは、ASML Twinscan XT 1250のもう一つの重要な機能です。Metrologyステーションは、露出前にウェーハ上の特徴を測定するために使用されます。ウェーハが正しく整列し、すべての機能が正しい位置にあることを保証します。ASML TWINSCAN XT:1250には、ウェハステッパーとクラスタツールローダーをリンクする自動クラスタツールもあります。このツールは、ウェーハパターンの迅速かつ正確なロードとアンロードを可能にします。Twinscan XT 1250には、工具設定、温度、高真空資産、およびその他のモデル条件をリアルタイムで表示する2つの独立したマシンコックピットがあります。これは、機器コンポーネントを管理し、システムが常に効率的に稼働していることを保証するために重要です。全体として、TWINSCAN XT:1250は強力で正確なウェーハステッパーであり、短時間で高品質のリソグラフィックマスターを製造できます。5ミクロンの精度、高可用性率、および微細レベルの精度を保証するレーザーアライメントユニットを備えています。さらに、自動化されたクラスタツールと2つの独立したマシンコックピットを備えており、正しい工具操作を保証します。