中古 ASML Twinscan XT 1200B #9096080 を販売中

ASML Twinscan XT 1200Bは、集積回路の製造のための高度なウェーハステッパーです。チップ製造時にフォトマスクを半導体ウェーハに正確にパターン化するために使用されます。XT 1200Bは、ASMLツインビームスキャン技術に基づいており、最先端の光学サブシステムと高性能スキャンフィールドの有効性を備えています。XT 1200Bには、それぞれの投影ユニットに2つの回折光学素子（DOE）が装備されており、統合されたレジストイメージングシステムが含まれています。DOEは、焦点を当てたサブミクロン線パターンを生成するために、収差を正確に補正するために2つの別々の光路を採用しています。統合されたレジストイメージングシステムは、パターン化されたフォトレジストの薄層または厚層の低コピーマスキングを提供します。XT 1200Bのアライメント精度は、2nmのドリフトで12nm （1 σ）で、完成品のエッチングと歩留まりを改善します。レチクル/ウェーハ平坦度、ビーム均一性、位置決めとポインティング精度、さらにはパターニング時の基板の電気的挙動などの重要な機械パラメータの測定と監視を実装しています。XT 1200Bは、12インチのレチクルスキャンフィールド、1,525万画素/秒のフルフィールドスキャンレート、および1秒あたり1,2400万画素のウェハスキャンレートを誇っています。最大開口数は0。25で、解像度は0。25マイクロメートル以下です。また、XT 1200Bは最大600mJ/cm^2の大用量を備えており、より厚いレジストの場合にはより速い露出を可能にします。さらに、このモデルは、ユーザーがイメージング、オーバーレイ、レンズの損傷に抵抗するためにマシンのパフォーマンスを最適化することができ、データ分析およびレポートツールの完全なスイートを提供します。XT 1200Bには、安定性とパフォーマンスを継続するための自動ステージキャリブレーションと収差補正も付属しています。Twinscan XT 1200Bは、先進的な半導体デバイスの大量生産に適した最先端のウェハステッパーです。優れたアライメント精度、高スループット、および収差補正や統合レジストイメージングなどの高度な機能を組み合わせて、半導体のすべてのバッチが工場から完全に出ることを確認します。