中古 ASML Twinscan XT 1200 #9079261 を販売中

ASML Twinscan XT 1200は、半導体基板のリソグラフィに使用されるPAS 5500/6500ウェハステッパーです。それは今日の集積回路の製造で使用される最も精密な光学機械の1つです。それは+/-0。5nmの精密なステップサイズの正確さのサイズの20nmまで特徴をパターン化する機能を備えています。Twinscan XT 1200には、シンクロスキャン®スキャニングシステムが装備されており、ウェーハのX-Yスキャンを提供するステージを備えており、高い線形性と速度安定性を備えています。ステージは240mm/秒の最高速度を達成でき、最大加速は40Gです。さらに、ステージにはピッチとロールの自動補正センサーが組み込まれており、スキャンされた領域全体にわたってパターンのアライメントを維持します。ASML Twinscan XT 1200は、0。45 μ m/ピクセルの解像度設定で最大300mmのウェーハ基板を露出することができます。この超高解像度の機能により、より正確で正確なパターンを生成することができます。このマシンにはクロップアライメントシステム（CAS）も装備されており、ウェーハ内の特徴を正確に配置するための小さなウェーハセグメントのアライメントを可能にします。Twinscan XT 1200では、AWG（配列導波路グレーティング）とLWD （Long Working Distance Objectives）を使用して、セミカスタムのレイヤーやデザインを露出させます。これらの導波路格子は歪みが少なく、より広い視野（FOV）を提供するため、スループットが向上します。LWDの目的は、すばらしい被写界深度（DOF）を提供し、結果としてより鮮明な画像になります。ASML Twinscan XT 1200は今日の半導体産業のための非常に信頼でき、有効な生産システムです。その精度とスピードで知られ、そのサイズの他のマシンよりも大きな特徴密度で高品質のパターンを生成することができます。また、デジタルICや制御ICからアナログIC、 パワーICまで幅広い用途に対応できるため、現代のチップ製造に適した汎用性の高いツールとなっています。