中古 ASML Twinscan NXT 1970Ci #293817825 を販売中

ASML Twinscan NXT 1970Ciは、リソグラフィーベースのウェーハステッパーです。DUV（深紫外線）ソースを使用して、フォトレジストで覆われたウェーハにパターンを層ごとに露出させます。Twinscan NXT 1970Ciは、大気交換ユニットの必要性を排除した高真空装置や、高解像度イメージングをサポートする大口径の数値開口部など、従来のフォトリソグラフィーシステムに比べていくつかのユニークな利点を提供します。ASML Twinscan NXT 1970Ciは複数のスキャナを並列に使用しており、高速かつ効率的なスループットを実現します。各スキャンユニットは、レーザーベースの照明システムに接続されており、波長乗算原理を使用して最適な解像度を達成し、各フォトリソグラフィ層の解像度の要件に適合させます。オートインフライトキャリブレーションユニットは、フォーカスやその他のパラメータを継続的に監視し、優れた精度と再現性を保証します。Twinscan NXT 1970Ciは、標準的なフォトレジストフィルムタイプとプロセスケミストリーを幅広くサポートし、ウェーハ層のタイプごとにリソグラフィーパラメータを最適化する柔軟性を提供します。さらに、グローバルアライメントとローカルアライメントの両方に高度なアライメント制御を提供し、大きなパターンや金型構造に影をつけることなく単一の露出ステッチを可能にします。ASML Twinscan NXT 1970Ciには、洗練されたコントローラーシステムと高度な3Dモニターツールセットが装備されており、すべてのリソグラフィおよび計測プロセスを包括的に制御できます。これらのツールには、トレーサビリティオプション、プロセス最適化のための層ごとの監視、完全に自動化されたジョブセットアップ、およびCD/光学制御などの品質管理機能が含まれます。Twinscan NXT 1970Ciは、完全な3D非接触検査、リアルタイムイメージング、膜厚モニタリング、オーバーレイ制御など、包括的な計測および検査機能も提供します。また、ウェハハンドリングやパッケージングシステムにも対応しており、既存の工場ラインへのシームレスな統合が可能です。ASML Twinscan NXT 1970Ciは、高性能リソグラフィーソリューションを求めるハイスループットファブ施設に最適なソリューションです。これにより、さまざまなフォトレジストやその他のフィルムタイプで、費用対効果が高く、正確で反復可能なパターンが可能になり、高度な製造プロセスで信頼性が高く、汎用性の高いパートナーとなります。