中古 ASML Twinscan AT 850D #293799740 を販売中
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ASML Twinscan AT 850Dウェーハステッパーは、コストパフォーマンスの高い半導体ウェーハ製造に優れたプロセスパフォーマンスを提供する最先端の最先端リソグラフィ装置です。ステップアンドスキャン機能を備えた自動露出システムで、薄型ウェーハの迅速なスループットを実現します。このユニットは、超高速スキャン速度と最大750mm/秒のステップ速度で高い生産性を備えています。このAT850Dは、コンシューマエレクトロニクス、コンピューティングおよびメモリデバイス、および低消費電力アプリケーション向けの複雑で高密度な集積回路の製造に使用するために設計されています。クォーツレンズ、ビームシェーピング光学（5BSO）ツール、干渉フィルタ（IF）アセットなど、さまざまな高度な光学部品を内蔵しています。光学系と高度なリソグラフィーソフトウェアを組み合わせることで、ウェーハ上に6〜7レベルの回路部品を正確に画像化することができます。このAT850Dはまた、高度な熱補償技術を備えた優れたスキャンスループットを備えており、ウェーハ上の単一回路層の露出時間を大幅に短縮します。これにより、ウェーハエッジのパターンによる歪みを低減し、より細かい分解能と高いプロセス歩留まりを実現します。このモデルは、ミクロンレベルのスポットで優れた精度を提供し、操作中の精度を検出します。AT850Dは、自動スキャン機能に加えて、パフォーマンス診断、キャリブレーション、メンテナンス監視など、さまざまなスマート機能も提供しています。これにより、ユーザーはプロセスの効率を最大化し、機器から常に最適な性能を維持することができます。このシステムは、変形ミラー、テレセントリックレンズ、AFCアライメントユニット、データ分析など、いくつかの高度な機能で構成されています。これらの機能により、優れたイメージング機能が提供され、ユーザーはさまざまなアプリケーションでマシンを微調整および校正できます。全体として、Twinscan AT 850Dウェーハステッパーは、複雑で高密度の集積回路部品を製造するための優れたツールです。その先進的な光学系、カスタマイズ可能な機能、優れたスループットにより、半導体製造に最適です。
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