中古 ASML Twinscan AT 1200B #293663072 を販売中
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ASML Twinscan AT 1200Bは、高度なリソグラフィ用に特別に設計されたウェーハステッパーです。これは、ASMLのシステム&コンポーネント部門によって開発され、形成されています。チップ全体の歩留まりを向上させる優れた精度と性能を提供します。このデバイスは、LED、 MEMS、およびパワーデバイスに最適です。ウェーハステッパーは、高解像度イメージングと広いフィールドサイズで、リソグラフィの優れた信頼性を提供します。AutoTune TWIN Automated Proximity Control (APC)を搭載しており、高いウェーハ間の均一性とオーバーレイ性能の向上を実現しています。この機能は、最新のリソグラフィ技術、高度なレチクルアライメント方法、および高度な計測精度を使用して、ウェーハの最も正確なパターニングを行います。このデバイスは、迅速かつ正確な露出を提供し、それをリソグラフィのための強力なツールにするコンポーネントの数が装備されています。これらのコンポーネントには、フィールドサイズを改善し、スループットを向上させるASML独自のスキャンテクノロジーが含まれます。自動レチクルアライメント(ARA)技術はオーバーレイ性能を向上させます。また、AutoTune TWIN APCを使用して、ウェーハ間の高い生産を実現するフィールド均一性の向上を実現しています。さらに、Twinscan AT 1200Bは、OPC生成の欠陥レベルが低く、クリティカルな寸法の均一性が向上し、ウェーハパターニングの価値が向上しています。レチクルとウェーハステージの負荷/アンロードが自動化されているため、デバイスの使用が容易になり、最新のステージデプロイメント技術をサポートします。このデバイスには、プロセス時間の修正が少なく、生産性を向上させるための適応型ワークフローもあります。全体として、ASML Twinscan AT 1200Bは、高度なリソグラフィのための最先端のデバイスであり、優れた精度と性能を提供し、効果的なウェーハパターニングをサポートします。さまざまな用途に適しており、効率的な使用と高い歩留まりを容易にする多くの機能を備えています。最終的に、このデバイスは、チップ全体の品質を向上させる最高のパフォーマンスと信頼性を提供するように設計されています。
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