中古 ASML Twinscan AT 1200B #293663069 を販売中

ASML Twinscan AT 1200Bは、フォトリソグラフィに使用される高精度ウェーハステッパーです。製品の寸法精度を維持しながら、半導体ウェーハなどの基板に高解像度のパターン転送を提供するように設計されています。Twinscan AT 1200Bは、モーションコントロールに高精度ステッピングモータを採用し、ミクロンの位置精度を実現しています。ズームレンズ、テレセントリック光学、プロジェクションレンズ、赤外線アライメントシステム、可変数値絞りなど、高解像度の光学部品を搭載しています。これらの要素を組み合わせることで、高精度のイメージングユニットを提供します。ASML Twinscan AT 1200Bは直径12インチまでの基板に対応可能です。ステッピングアームと可変速度を備え、基板の回転と露出面のアライメントを可能にします。ステッピングアームは、基板テーブルを横方向にスライドさせるキャリアに接続されているため、正確かつ迅速な位置決めが可能です。Twinscan AT 1200Bは、光学センサーを使用して基板のテーブル上の位置を追跡する自動アライメントマシンも提供しています。このツールは、コンポーネントのより迅速かつ正確な調整を可能にします。ステッパーにはオプションのレベリングアセットもあり、さまざまな部位で基板の表面を測定し、精度を確保するために高さを調整します。精密部品とアライメントモデルに加えて、ASML Twinscan AT 1200Bには軽量マスカーとプロセス制御ユニットがあります。ライトマスカーは露光レベルとフォーカスデバイスを制御するために使用され、プロセスコントロールユニットはユーザーが照明レベルや露光時間などのレシピパラメータを調整することを許可します。Twinscan AT 1200Bはフォトリソグラフィのための機能の広い範囲を提供します。高精度のイメージング装置と制御部品は、正確で信頼性の高いパターン転送を提供し、自動化されたアライメントとオプションのレベラーは信頼性の高いパフォーマンスを保証します。多数の基板との互換性を備えたASML Twinscan AT 1200Bは、正確で信頼性の高いウェーハステッパーを必要とするお客様に最適です。