中古 ASML Twinscan AT 1150i #9112188 を販売中

ASML Twinscan AT 1150iウェーハステッパーは、半導体業界で広く使用されている最先端のリソグラフィ機械です。この機械は、10ナノメートル以下の小さなスポットサイズの高分解能光学パターンを生成することができます。1150iは、レーザービームを使用してウェーハ上にパターンを生成する投影型スキャン機です。レーザービームは、回転する球面ミラーから最初に反射され、ビームを一連の小さな動き段階に集中させます。ステージは、レーザービームを所定のパターンでウェーハ全体に移動させます。ウエハは5軸ステージに取り付けられており、あらゆる方向に移動することができます。ステージは、レーザーが表面をスキャンされている間、ウェーハを回転させることもできます。この技術により、1150iは複数の露出ジョブに使用でき、1つのウエハに複数の異なるパターンを作成することもできます。1150iは、ステップアンドリピートと呼ばれる技術を利用して、ウェーハの同じセクションを複数回スキャンします。これにより、ウェーハの複数のレイヤーを単一のスキャンで構築できます。さらに、マシンにはマルチゲートシステムがあり、レーザービームの焦点を即座に調整することができます。1150iはまた、プログラム可能な制御システムを備えており、ユーザーはマシンが動作する特定の速度と加速度パラメータを定義することができます。この機能により、高スループットやパターンの複雑さなど、さまざまなジョブにシステムを最適化することができ、生産性が向上します。優れたスキャン機能に加えて、1150iはデータを迅速に処理することができ、迅速かつ正確なパターン定義を保証します。このマシンは、ジョブ情報を10ミリ秒以内に迅速に処理することができ、リアルタイムのアライメント機能も可能です。1150iは効率的で信頼性の高い機械で、優れたパターン忠実度と均一性を提供します。堅牢な設計と統合された機能により、半導体製造および研究開発ニーズに最適です。