中古 ASML Twinscan AT 1150i #9112180 を販売中

ASML Twinscan AT 1150iは、高性能ウェーハの製造に使用される現行世代のステッパーです。ステッパーは、半導体製造プロセスで使用されるフォトリソグラフィ装置の一種です。フォトマスクから得られたパターンをウェーハ表面に正確に転送することが可能で、集積回路の製造に使用されるトランジスタなどの小型化を実現します。Twinscan AT 1150iは、最大50ナノメートルのサイズの重要な機能を生成できる最先端のデバイスです。ステッパーはまた、わずか2ナノメートルの再現性で、優れた精度を提供します。また、1時間あたり最大15,000個のウェーハを処理できる高いスループットレートを誇っています。ASML Twinscan AT 1150iには、より効率的なエネルギー移動を可能にする二重層光学システムが装備されており、ウェハの均質な露出を提供します。このシステムはまた、可能な限り最高品質のウェーハの生産を確保するために、クリアおよび位相シフトマスクの両方で優れたイメージングを提供します。ステッパーは、エッジのロールオフを低減するフィールド補正機能も備えており、幅広いウエハータイプと基板に対応できます。さらに、Twinscan AT 1150iは、高度な自動ソフトウェアスイートを利用できます。このスイートには、高度なアライメントおよびキャリブレーションシステム、およびリアルタイムで重要なパラメータを監視するために使用できるイメージングおよび分析ツールのスイートが含まれています。これにより、ダウンタイムを最小限に抑え、手動による介入を最小限に抑えて、高品質の製品を確実に生産できます。最後に、ASML Twinscan AT 1150iは非常に信頼性が高く、安全に使用できます。これは、電気ショックに対する保護のいくつかの層だけでなく、汚染のリスクを低減するための非常に効率的な空気ろ過システムを備えています。これにより、ダウンタイムを最小限に抑え、高品質の製品を安全に生産することが最重要の高性能生産環境での使用に最適です。