中古 ASML Twinscan AT 1150i #9112176 を販売中
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ASML Twinscan AT 1150iは最先端のウェーハステッパーです。半導体製造、オプトエレクトロニクス部品製造、ナノフォトニクス研究など、さまざまな応用分野に精密なマイクロリソグラフィ処理を提供する完全自動化およびコンピュータ化された機器です。1150iは、生産性を最適化するために、広い視野、高解像度、高スループットの高度なイメージングシステムを備えています。これは、イメージングと計測機能の広い範囲を可能にするために、統合されたデュアルステージマイクロ光学ユニットが装備されています。1150iは、TIFF、 JPEG、 PDFなどの最も一般的なフォーマットを含むさまざまなデジタルイメージフォーマットを備えた優れたイメージング機能を提供します。また、画像処理や解析業務にも対応可能で、ウェーハ前処理からデータ取得・解析まで一貫したワークフローを提供します。1150iは、製造されている製品の品質を保証するのに役立つ、包括的なイメージング、計測、およびプロセス監視ツールを備えています。1150iは、各部品加工操作において高い精度と再現性を提供するように設計されています。自動化された校正手順により、イメージングプロセス全体に歪みがないことが保証されます。さらに、すべての操作が必要なパラメータに従っていることを確認するために、リアルタイムの検証と制御プロセスが整備されています。また、アクティブなアライメントとアライメントの検証機能を備えた高度なマシンを備えており、オペレータの関与を最小限に抑えて歩留まりとスループットを向上させます。1150iの精度は、統合されたオートフォーカス機能によってさらに向上します。1150iはまた、さまざまな表面仕上げ、ドーピング、エッチングパターン要件を備えた基板など、さまざまなプロセス環境制御システムを提供しています。また、光に敏感な材料などの敏感なウェーハ材料を扱うことができ、ペリクルなどの特殊なコーティングを使用して、可能な限り最高のイメージング性能を保証するように構成することができます。1150iは信頼性の高い堅牢なツールで、オペレータに最高の精度と生産性を提供します。その自己診断機能、統合された安全システム、および丁寧なカスタマーサポートにより、この資産は非常に有益で信頼性の高い製造ツールになります。
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