中古 ASML Twinscan AT 1150i #9112174 を販売中

ASML Twinscan AT 1150iは、集積回路（IC）、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、および高度な光学系の高精度リソグラフィを実行するように設計された、最高のフォトリソグラフィーウェハステッパーです。この自動スキャナ装置は、優れたスループット、優れたパターン忠実度、およびプロセス緯度の拡大をお客様に提供し、最先端の技術の生産を支援します。Twinscan AT 1150iは、新しいスキャナ設計、現場でのキャリブレーション、高度な計測およびプロセス制御機能を備えた最新世代のツールです。ASMLディップインフォトリソグラフィーシステムと、高速リニアスキャン、2フレーム、シングルデフレクター、フィールドレンズを備えたユニークなスキャナーユニット設計を統合し、優れた均一性と効率を保証します。ASML Twinscan AT 1150iのパワーと柔軟性により、ユーザーは、優れたマージンとオーバーレイ性能を達成しながら、20nmまでの機能サイズのチップをリトグラフすることができます。Twinscan AT 1150iは、優れた制御と精度で、非常に要求の厳しい鏡面および非鏡面レイヤーをリトグラフする機能をユーザーに提供します。また、高精度のX-Yステージとスキャナーモーションシステムを採用し、高いスループットと高速スループットを実現しています。また、象限検出器を採用して、比類のない画質の均一性を確保しています。優れたリソグラフィ機能に加えて、ASML Twinscan AT 1150iは、さまざまな高度な計測およびプロセス制御オプションを備えています。これには、高度なレチクル計測ツール、マルチクアドラントオートスケーリングアセット、焦点深度計算、およびより高いレベルのリソグラフィ最適化のためのアクティブなフィードバックが含まれます。さらに、Twinscan AT 1150iには業界をリードする検査モデルがあり、ウェーハを公開する前にウェーハの完全性を検証するために使用されます。電力と安定性は、ASML Twinscan AT 1150iの最も重要な機能の2つです。このマシンは、複数のステージやロボットを含む高度なウエハハンドリングシステムと、周囲温度に関係なく最適な作業条件を確保するためのシールドスキャナを搭載しています。また、オンボードウェーハルーティング、オーバーヘッドコールドプロセススイッチング、オンザフライ構成変更も備えており、継続的な生産プロセスを可能にします。Twinscan AT 1150iは、ファインピッチ技術とハイエンドの3D設計に最適なツールです。優れたリソグラフィ性能と高度な計測およびプロセス制御機能を組み合わせ、最高品質のデバイス設計を保証します。高度な光源とスキャン技術により、ASML Twinscan AT 1150iはユーザーに今日利用可能な最も有能なデバイスを作成する力を提供します。