中古 ASML Twinscan AT 1150 #9360853 を販売中

ASML Twinscan AT 1150は、半導体業界で使用される高度なウェーハステッパーです。XY平面の角度スキャン用のプライマリスキャンシステムと、Z軸に沿った線形スキャン用のセカンダリスキャンユニットの2つの部分からなる分割スキャン装置を備えています。Twinscan AT 1150は、回折マイクロオプティカル素子を使用して出力画像の品質を向上させます。イメージング中の光学系の損傷を防ぐための遮蔽機を備えています。ASML Twinscan AT 1150は、最大フィールドサイズが19 x 19 mils、最大フィールド偏差が0。05 milsの広い視野を持っています。最小フィーチャーサイズは2。5nmで、最小フィーチャーサイズは0。25nmです。ステッパーは、高度なマイクロ光学素子のおかげで、利用可能な最も広い0。8の非常に高い数値の開きを備えています。また、光学設計により、高NAと低ディストーションイメージングを同時に実現します。Twinscan AT 1150は、1時間あたり最大500ウェーハの印象的なデータスループット速度で設計されています。また、標準から真空まで、さまざまな環境で動作することができます。連結ステージを備え、最大10m/sの高速翻訳を可能にし、精度と精度を向上させるための統合されたデジタル測定ツールを備えています。ステッパーには、複数の高度な照明システムが装備されており、電力、波長、および強度のための幅広いオプションがあります。その高度な内部ソフトウェアは、高度なインチャンバー画像アルゴリズム処理と画像ベースの意思決定を可能にします。また、ウェーハ試験片の範囲にわたって測定精度を確保するために、グローバルアライメントアセットと統合されています。ASML Twinscan AT 1150は、進化を続ける半導体産業の要求に応えるために設計された高度なモデルです。広い視野、高い数値開口率、高速データスループットを備え、画像の低減とアライメントプロセスに最適なツールです。その洗練された照明システムと画像処理能力は、製造プロセスの厳しい要件に効果的に適しています。