中古 ASML Twinscan AT 1100B #293817722 を販売中

ASML Twinscan AT 1100Bは、半導体製造用に設計された高精度ウェハステッパーです。ウェーハステッパーは、高精度のステージ装置を使用し、ウェーハ全体の正確なアライメントと露出を可能にします。Twinscanは中央に位置するガントリーに位置し、2つの独立した可動レンズを収容しています。レンズは、レンズシフトが発生した後でも、ウェーハが常に同じ正確な位置にあることを保証する強力な近接フォーカスシステムを提供します。AT 1100Bは、2。5ナノメートル以下のレンズの動きを備えており、焦点距離は最大1。73ミクロンです。このレベルの精度により、最高分解能の感光材料を使用しても、ウェーハ全体で露光が一貫していることが保証されます。AT 1100Bは、最高分解能の感光材料でも安定した露出を維持するために高度な光学ゲイン制御を採用し、ショット中にウェーハを傾けても一定の露出を確保します。ウェーハはX線源で照らされ、ビーム幅は100ミクロン、直径は0。2ミクロンです。これは、わずか6秒で完全なウェーハをカバーする露出フィールドを生成します。ステッパーには、露出フィールドの監視と調整、フォーカスパラメータの制御を可能にする高度な制御ユニットが内蔵されています。これにより、ユーザーはウェーハ全体で最高の精度と均一性を達成することができます。また、AT 1100Bにはウェーハアライメントマシンが搭載されており、センサーを使用してウェーハの位置を決定し、それに応じて露出フィールドを調整します。最後に、ステッパーには衝突検出ツールなどの安全機能が搭載されており、露出中にウェハが損傷しないようにしています。さらに、AT 1100Bは連続的な義務のために評価され、ハイエンドで高精度な生産ラインに適しています。