中古 ASML Twinscan AT 1100B #293817674 を販売中

ASML Twinscan AT 1100Bは、半導体製造装置メーカーASMLによって作られた最高級のウェーハステッパーです。この装置は、シリコンなどの半導体ウェーハの上面に非常に正確なパターンを生成することができます。このシステムは、ウェーハを固定するステージと、照明ユニット、対物レンズ、投影板の3つの主要な可動部品で構成されています。照明装置は、パターンをウェーハ表面に完全に均一に露出させるために使用されます。これは、3つのハロゲンランプを使用して行われ、異なる種類の露出のための調整可能な高さを持ち、ウェーハ全体の光の均一な強度を提供します。中空陰極ランプは、熱効果を最小限に抑えた高精度露光のための安定した超短露光時間を提供するために使用されます。対物レンズは、ウェーハ表面に投影板によって投影された画像を拡大するために使用され、作成されたパターンは最高解像度で正確です。レンズは可変的な数値開口を持ち、1X-4Xからズームすることができ、ウェーハ上でさまざまなパターンを最大限の精度で作成することができます。プロジェクションプレートはレンズの横にあり、ウェーハ表面に所望のパターンを投影するために使用されます。このプレートにはミラーの配列が含まれており、パターンは4つのレーザーによって生成され、180度の動きが可能になり、さまざまな角度からパターンを作成することができます。他のウェーハステッパーとは異なり、Twinscan AT 1100Bにはレイヤー露出ツールがあり、基板を移動または傾けることなく、各レイヤーの最適な露出を保証します。これにより、精度が向上し、生産速度とコスト効率が向上します。アセットはデスクトップのサイズですが、ホイール上である場所から別の場所に簡単に移動できます。高度な集積回路に最適な0。5 um以上の解像度で非常に正確なパターンを生成することができます。ASML Twinscan AT 1100Bは、最先端のウェーハステッピングシステムを探している半導体デバイスメーカーに最適です。