中古 ASML Twinscan AT 1100B #293667141 を販売中

ASML Twinscan AT 1100Bは、半導体産業のフォトリソグラフィに使用される高度なウェハステッパーです。優れた解像度、優れた均一性、高速サイクルタイムを提供する高性能リソグラフィーツールで、大量の半導体製造を可能にします。TwinScanのスキャン装置は、2ミラースキャン構成の最上位光学（光学1と2）で構成されています。ウエハー全体で優れたイメージングと優れた均一性を発揮し、幅広いウエハサイズに対応できます。TwinScanの先進的な光学系はさらに優れた解像度を提供し、最大0。9のNAで最大0.35µmの機能サイズをスキャンします。Twinscan AT 1100Bの他の機能には、高度でユーザーフレンドリーな制御ソフトウェアがあり、簡単な操作とシステムカスタマイズが可能です。また、アライメント時間を最小限に抑え、迅速なウェーハセットアップを実現します。このユニットはまた、任意のマシンのエラーをすばやく識別して解決できるセルフトラブルシューティング機能を提供します。TwinScanは、フォトリソグラフィープロセスに不可欠な優れた計測を提供するように設計されています。モノクロ干渉シールドを使用して3Dトポグラフィーエラーを検出するアクティブメトロロジーツールを装備しています。ウェハオーバーラップのマルチフィールドステッチモードを備えており、マルチフィールドイメージの正確なステッチに役立ちます。ASML Twinscan AT 1100Bは、高真空アセットと正確なウェーハローディングモデルを備えており、高性能と高スループットを実現します。さらに、先進のレジストクックオフ装置により、露出時のレジストの燃焼を防止し、性能を向上させます。全体として、Twinscan AT 1100Bは、卓越した解像度、均一性、およびサイクルタイムを提供する最高級のウェーハステッパーです。その高度な機能と高精度の計測は、最高の精度と大量生産を必要とする生産環境に最適です。