中古 ASML Twinscan AT 1100B #293640031 を販売中

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ID: 293640031
ヴィンテージ: 2002
ArF Scanner 2002 vintage.
ASML Twinscan AT 1100Bは、リソグラフィ用途向けに設計された最先端のウェーハステッパーです。このデバイスは、高解像度のイメージングを実現することができ、生産のためのウェーハの数百を収容することができるスキャンレーザーを使用しています。Twinscan AT 1100Bは、マイクロチップ製造、ISFET処理、LED製造などの高度なリソグラフィープロセスに最適です。このデバイスは、2軸の再循環エアベアリング配置で利用可能な最先端の光学アライメント技術を利用しており、正確で反復可能で正確な精度を実現します。ステッパーは、レーザービームを高精度に集中させるように設計されており、優れた均一性と非常に低い可変性を備えた高解像度イメージングを可能にします。さらに、この装置は最先端の傾き均等化アルゴリズムを使用して、焦点残留物を最小限に抑え、位置誤差を最小限に抑えます。ASML Twinscan AT 1100Bは、最高1000ミクロン/秒の高速スキャンを可能にする超精密スキャンステージを採用しており、より高速なイメージングと高いスループットを可能にします。このシステムは、長期間にわたって安定したイメージングを維持するために、振動と外部の影響を補償することができます。さらに、このデバイスには自動サービスサイクルが装備されており、オペレータはステッパーを簡単に監視および維持することができ、ダウンタイムを最小限に抑えます。Twinscan AT 1100Bは、統合された照明ソース、高感度光検出アレイ、低電力デジタル信号処理、および独立したサブミリ秒制御信号からなる高度なハードウェアアレイを備えています。これにより、デバイスは高い精度と性能を達成し、維持することができます。さらに、このユニットは複数の露光源とフィルターセットを使用して、イメージング機能を強化できます。ASML Twinscan AT 1100Bは、直感的でユーザーフレンドリーなWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイスで動作します。これにより、イメージング操作の迅速かつ簡単なセットアップ、制御、および実行が可能になります。さらに、測定、オートメーション、品質管理、サービス、およびキャリブレーションツールの多種多様な機器を備えており、ユーザーは重要な情報や機能にすばやくアクセスできます。全体として、Twinscan AT 1100Bは、高度で信頼性の高い精密なウェーハステッパーで、さまざまなリソグラフィおよびイメージングのニーズに最適です。ASML Twinscan AT 1100Bは、超精密スキャン機能、自動サービスサイクル、直感的なユーザーインターフェイス、および低メンテナンス要件を備え、ハイエンドの産業および技術アプリケーションに最適です。
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