中古 ASML Twinscan AT 1100 #9360842 を販売中

ASML Twinscan AT 1100は、半導体デバイス製造用に設計された2ビームウェハスキャン装置です。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスとハイエンドのデジタル信号処理を備えています。このシステムは、高速化だけでなく、正確なアライメントとフォーカスのために最適化されています。Twinscan AT 1100は、最高のスループットと低コストで24時間365日の迅速な処理時間をサポートします。ウェーハステッパーは、重要な登録、品質の向上、データ管理のための高度なオーバーレイ機能も備えています。ASML Twinscan AT 1100は、高精細画像、プロセス制御、および高精度操作のための高度な技術を使用しています。これには、高度な自動アライメント、参照アライメントマップ、および安定したアライメントのためのオンザフライ補償機能が含まれています。また、高解像度のウェーハ位置決めとトレーサブルな計測ステーションを備えています。これらは、x、 y、 zの動き、ピッチ、ロールなどを測定するように設計されています。Twinscan AT 1100にはスマートイメージングも搭載されており、最新の画像処理技術を活用することができます。オートフォーカス、レンズ歪み補正、画像ビニングなどの高度なイメージング技術により、最大256ビットの解像度を実現します。また、スキャンヘッドと高精度の光学プロファイラの両方を使用しています。これにより、アプリケーション固有のウェハフラット性と欠陥識別のための高分解能で信頼性の高い情報が保証されます。ASML Twinscan AT 1100は、ウェーハ処理アプリケーションの広い範囲で使用するために設計された完全モジュラーツールです。レチクルから大規模ウェーハまで、さまざまなスキャンフォーマットをサポートしています。また、5 μ mから200mmまでの視野範囲が1つのスケーラブルな設計を備えているため、ユーザーは特定のアプリケーションのニーズに最も適したスキャン技術を選択できます。また、Twinscan AT 1100は、中小型半導体製造設備にとっても魅力的な導入を可能にします。低い独立したメンテナンス構造を備えているため、ユーザーは独自のサービスとサポートのニーズをカバーできます。さらに、ウェーハステッパーには、統合された環境監視ステーションと、安定したプロセスを確保するためのオプションの計測サービスが含まれています。