中古 ASML Twinscan AT 1100 #9193540 を販売中

ASML Twinscan AT 1100は、複雑で高解像度の集積回路チップの製造をサポートするように設計されたASML製の高精度ウェハステッパーです。AT1100は高度に構成可能でスケーラブルなステッパーで、直径50mmから200mmまでの基板をサポートできます。AT1100は、コンパクトでユーザーフレンドリーな設計を特徴とし、高度なopto-mechanicalコンポーネントと機能の広い範囲を備えているため、大量の製造作業に最適です。精密基板位置決めのための5軸スキャンステージ、レチクル測定装置、高解像度カメラ、高度な照明システムを備えています。AT1100は高度なオートメーション機能と人間工学的機能を備えています。このユニットは、幅広いウエハハンドラと複数のウエハサイズ、および高圧および低圧処理モジュールに対応しています。これは、5nmの測定された分解能で、優れた光学性能を提供することができます。さらに、AT1100は、248 nmと193 nmの波長範囲を持つ高度なDUVスキャナを備えています。先進のF2光学装置と、0。36 μ mの再現性を備えた高速・高精度の4軸ステージを搭載しています。広範なソフトウェアスイートは、ユーザーにスキャンプロセスを完全に制御し、操作全体を最適化します。AT1100ウェハステッパーは汎用性が高く、高精度のイメージングと優れたスループットを提供することができます。使いやすく、高品質の部品と高速サイクルタイムが不可欠な産業用途に適しています。このツールの高度な機能と最適なパフォーマンスにより、現在市場で入手可能な最も信頼性が高く費用対効果の高いウェーハステッパーの1つになります。