中古 ASML Twinscan 1700i #9408937 を販売中

ID: 9408937
ヴィンテージ: 2009
Immersion scanner CIM: SECS Process: Backend 40/45 nm Argon fluoride laser: 193 nm 2009 vintage.
ASML Twinscan 1700iは、半導体業界の主要なウェーハステッパーの1つです。シリコンウェーハなどの基板上に詳細な回路パターンや構造を作成するために、効率的かつ正確なリソグラフィースキャンを提供するように設計されています。Twinscan 1700iは、5軸ステージ、フォトリソグラフィーレンズ、投影装置で構成されています。5軸ステージにはリニアモータを搭載し、超精密かつ迅速な位置決め機能を提供し、サイクルタイムを短縮します。レンズは、最大1。2x倍率の高精度・高分散集束システムです。プロジェクションユニットは、照明源、光学素子、プロジェクションレンズで構成され、フルチップレイアウト設計を基板に投影します。ASML Twinscan 1700iには、高度な制御機も装備されています。このツールには、単層設計や多層設計など、幅広い用途に適した機能が組み込まれています。これには、ピクセル欠陥の低減、アライメント精度の向上、シームレスなエッジのシャープネスの最適化技術が含まれます。Twinscan 1700iは高速計算モジュールと高度な追跡とオーバーレイ補正機能を備えており、高精度を維持しながらサイクルタイムを短縮することができます。ASML Twinscan 1700iは、用量と焦点の面で最大限の柔軟性を提供するように設計されています。このモデルは、お客様固有の要件を満たすように簡単に構成することができ、さまざまな基板とも互換性があります。Twinscan 1700iは高い稼働時間、低いサービス要件、優れた信頼性を備えています。また、プロトタイプと生産ラインの両方に包括的なリソグラフィーソリューションを提供し、さまざまなマイクロエレクトロニクス用途に使用できます。
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