中古 ASML Twinscan 1700i #293645775 を販売中

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ID: 293645775
Immersion scanner Wavelength: 45 nm.
ASML Twinscan 1700iは、半導体製造で使用されるハイエンドウェーハステッパーです。マイクロチップなどをシリコンウェーハ表面に高精度かつ高速に配置できる先進的な生産システムです。ステッパーには強力な光学系が装備されており、最も精密なエッチングおよびイメージングプロセスに極端な紫外線(EUV)リソグラフィを使用しています。Twinscan 1700iは露出時間を短縮するように設計されており、処理される繊細な回路や基板への熱損傷が少なくなります。空気または真空の2つの環境で動作することができます。空気中で動作する場合、ドライスキャン機能を利用することができ、湿気、汚れ、およびウェーハへのほこりの影響を制限するのに役立ちます。この機能はまた、優れたイメージング精度と最速のスループットを提供します。この高度なマシンは、強力なコンピュータシステムと高度に構成可能なオートメーション技術によって駆動されます。ステージスキャン、AFM、 KFKスキャン用の4つの線形軸と、設定可能な回転軸を備えています。0。1 um (10ナノメートル)の3D解像度までスキャンでき、再現性は0。05 umです。また、最大アライメントステージ速度は25mm/s、最大焦点距離は1300mmです。Twinscanは、1時間あたり最大300個のウェーハで、直径8インチのウェーハを扱うことができます。また、レーザー安全シャッター、プログラム可能な安全インターロック、警告灯など、適切な動作を保証するための高度な安全機能も備えています。これらの機能を組み合わせることで、ASML Twinscan 1700iは半導体デバイス生産の出力を大幅に向上させる可能性があります。
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