中古 ASML S1250D #9267433 を販売中

ASML S1250D
製造業者
ASML
モデル
S1250D
ID: 9267433
System.
ASML S1250Dは、半導体業界で広く使用されているハイエンドウェーハステッパーです。本装置は、高性能な半導体デバイスを最高品質の歩留まりで製造することを目的として、フォトレジストを迅速かつ正確に紫外線にさらすように設計されています。S1250Dは、135ミリメートル(5。3インチ)のスキャナと0。72の数値開口を備え、310〜365ナノメートルの範囲で0。86〜0。88のk1分解能を備えています。これにより、優れたイメージング機能とスループットを実現します。ASML S1250Dは真に革新的なモジュラー設計アプローチを利用しており、ユーザーは特定のニーズに応じてシステムをカスタマイズすることができます。モジュールを簡単に交換して、フォトマスク検査機能の追加、フォトレジストウェハアライメント、露光機能の向上のための複数のプロジェクターユニットなどの機能を追加または削除できます。また、S1250Dは、イメージングプロセスを最適化するために、異なる露光エネルギーと角度を交互に行うことができるデュアルソースフィールドを利用しています。このユニットには、オペレータに最高レベルの性能と精度を提供するために協力するさまざまなハードウェアおよびソフトウェア要素が装備されています。ハードウェアには、レーザーアライメントされたマスクテーブルと超高解像度プロジェクションレンズが含まれています。ソフトウェアスイートには、アライメントマシン、キャリブレーションモジュール、ユーザーフレンドリーなインターフェースが含まれています。これにより、ユーザーは簡単にパラメータを操作し、マシンのプロセスを管理し、結果を追跡することができます。ASML S1250Dは、高度なイメージング機能に加えて、デバイスの製造および品質管理プロセスを支援するさまざまな高度な機能も備えています。スクラップ除去、欠陥ゼロ検査、自動露出変調などのユニークな機能を備えています。これにより、デバイスのスループットと精度を一貫して最適化しながらも、欠陥のない結果をターゲットにすることができます。S1250Dはパワフルで信頼性の高いウェーハステッパーで、最大歩留まりの高い高性能半導体デバイスの製造に使用できます。モジュラー設計アプローチと先進技術により、ユーザーはデバイスから最高レベルのパフォーマンスを得ることができ、堅牢なユーザーインターフェイスとソフトウェアスイートは使いやすさを確保し、結果を追跡します。さらに、スクラップ除去、欠陥ゼロ検査、自動露出変調などの高度な機能により、毎回最適化された結果が保証されます。
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