中古 ASML Power box #293671352 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293671352
ASMLパワーボックスは、半導体プロセスで使用されるウェーハステッパーの一種です。半導体ウェーハを様々なタイプの放射線に正確に配置して露出するように設計された高度なツールです。X、 Y、 Zモーターを使用してステージを移動し、ウェーハ上の照明パラメータを調整します。これにより、小型デバイスの高精度なリソグラフィと高機能密度を実現します。電源ボックスの基本的なパラメータは次のとおりです。画像領域-300 mm；画像サイズ-200〜500 nm；照明の源-紫外線、IRおよび目に見える；露出線量範囲-0。1から10 µJ/cm2まで。再現性-<1 µm。また、ウェーハの積み降ろしにも高度なオートメーション機能を備えており、メンテナンスが容易です。最高レベルの画質を達成するために、ASMLパワーボックスは2つの主要なコンポーネントを利用します。スキャンレンズアセンブリとウェハステージシステム。スキャンレンズアセンブリは、サーボ駆動のミラーで構成され、光ビームをウェーハに向ける。ミラーは、リソグラフィープロセスの焦点、空間分解能、露光パラメータを設定するために、すべての3軸で移動します。ウェーハステージシステムは、固定テーブルと可動ステージで構成され、X、 Y、 Z方向に移動してビームをウェーハ上のさまざまな場所に向ける。電子ビーム、極端な紫外線、電離放射、赤外線など、さまざまな種類の放射線をパワーボックスに使用できます。機械はまた自動シャットオフおよびレーザー警報のようないくつかの安全特徴が、装備されています。ASMLパワーボックスは、リソグラフィープロセスを正確に制御する非常に高度なツールです。複数の照明源と高品質の画像を備えたPower Boxは、高機能密度の小型デバイスの製造に最適です。
まだレビューはありません