中古 ASML PAS 5500 #9050378 を販売中

ASML PAS 5500は、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの生産のために半導体業界で使用されている高性能の光プロジェクションスキャナです。人気のPAS 5000シリーズのハイエンドバージョンで、高度で高解像度のウェーハステッパーに合わせてカスタマイズされています。PAS 5500には、広範囲の露光波長と高解像度アプリケーションのための正確で安定した強度を生成することができる組み込みの高度な光源が付属しています。ブラストプロジェクターヘッドには、独立して調整可能な3つのソースポイント（SP）が装備されています。これらにより、フォーカス機能が向上し、最終製品のフィーチャーサイズと形状がより均一になります。フルフィールドイメージマスクデバイスは、ターゲット領域を整列させて位置に迅速に移動するために使用され、ウェーハの配置が迅速かつ正確になります。ASML PAS 5500は高解像度5インチセンサーを採用しており、精密な操作が可能です。メンテナンスフリーに設計されており、市場での需要の増加に対応するために簡単にアップグレードすることができます。高解像度のPAS 5500は、ライン幅制御に優れ、パターン歪みや画像ノイズが極めて少ない機能を備えています。これにより、ハイエンドの生産プロセスに最適です。このシステムには、ウェーハの正確で信頼性の高い露出を確保するために設計された高精度の制御ブロックも含まれています。ビームの強度とレチクルのアライメントを測定する複数のセンサーが含まれています。また、このソフトウェアは、パターンのバリエーション（CPV）を修正し、ウェーハ製造プロセス中に発生する可能性のある任意のレベルエラーを修正します。ASML PAS 5500は、正確なアライメント、高い均一性、優れたライン幅コントロールを提供する信頼性の高い高性能ウェーハステッパーです。要求の厳しい生産プロセスに最適で、新しい要件に容易に適合し、幅広い用途に適しています。