中古 ASML PAS 5500 / 90 #293817842 を販売中

ASML PAS 5500/90は、高度なレーザーベースのウェーハステッピングシステムです。このステッパーはフォトンビームリソグラフィーツールとして機能し、高出力のアルゴンレーザーを使用して半導体ウェハ上にナノスケール構造を作成します。最大0。7ミクロンの分解能で、ウェーハ上のオブジェクトの高精度なアライメントと移動を可能にします。PAS 5500/90は、高真空の直立したエンクロージャに収納されているため、光子回収が向上し、振動を低減し、マイクロレベルの精度を維持して最適なウェーハ性能を実現する堅牢な材料で構成されています。ステッパーには、スキャッタービームジェネレータ（SBG）とウェーハホールディングシステム（WHS）の2つの主要コンポーネントが含まれています。SBGは単位の基盤にあり、ウェーハの表面に電子のビームを投影します。単位の上部にあるWHSはモーターを備えられた線形および円の動きとウェーハを握り、正確に動かすために責任があります、レーザー光線とエッチングされる複雑なパターンを可能にします。ASML PAS 5500/90は、ウェーハ上にロジック回路、MEM、トランジスタなどの微細な機能と回路を構築するために使用できます。最小線幅は0。7ミクロンで、円、正方形、多角形など様々な形状の微細なパターンを作成することができます。医療および聴覚/音声技術のアプリケーションで使用されるマイクアレイも、このマシンを使用して作成することができます。正確さを確保するために、ステッパーはImage Transformation Algorithm （ITA）と呼ばれるアルゴリズムを採用しています。このアルゴリズムにより、ステッパーは露出後計算を最小限に抑えて、ウェーハ上で目的のパターンを正確に予測し、作成することができます。高精度なPAS 5500/90は、3Dプリントなどの高度なナノテクノロジーの信頼性の高いツールとなります。ASML PAS 5500/90は、迅速で簡単なセットアップと簡単なメンテナンスのために設計されており、ユーザーのダウンタイムを最小限に抑えます。タッチスクリーン制御を備えた直感的なユーザーインターフェイスを提供し、オペレータは必要に応じて設定やパラメータを迅速に調整できます。先進的な機能と堅牢な設計により、PAS 5500/90は微細なナノ構造とデバイスの製造において卓越した性能を提供します。