中古 ASML PAS 5500 / 850D #293820736 を販売中

ASML PAS 5500/ 850Dは、高度な光学リソグラフィ機能と高度なモーションコントロール技術を組み合わせた強力なウェハステッパーです。PAS 5500/ 850Dには、超高数値開口（NA）光学機器が搭載されており、優れた光学性能と統合されたモーションコントロールシステムを提供します。光学ユニットは193nm KrFエキシマレーザーを採用し、0。74までのNA値で非常に高解像度を提供します。光学機には収差補正器が搭載されており、ウェーハ表面全体に最適なフォーカスが可能です。この光学ツールには、反射防止表面コーティングも含まれており、反射レーザー光を低減し、ウェーハスループットを向上させます。ASML PAS 5500/ 850Dのモーションコントロールアセットは、ステッピングモーター、サーボモーター、ドライブエレクトロニクスを組み合わせてステージを正確に配置し、+/-1µm内の位置を維持します。ステッピングモータは、デジタル信号プロセッサによって駆動され、最大0.1µmの位置精度を可能にします。サーボモータは、アライメントモデルの線形および回転運動を提供し、レールのセットに沿ってステージを追跡します。ドライブエレクトロニクスには、ダイレクトドライブデジタルアンプが含まれており、最高の精度と電力効率を提供します。PAS 5500/ 850Dは、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーな制御装置も備えています。このインターフェイスを使用すると、システムのセットアップを簡単に設定でき、ユニットのセットアップとリアルタイムのパフォーマンスを監視できます。ASML PAS 5500/ 850Dは非常に汎用性の高いウェーハステッパーで、幅広いリソグラフィ用途に優れた解像度と精度を提供します。最新の半導体研究と生産環境に最適な製品です。