中古 ASML PAS 5500 / 850C #293817849 を販売中

ASML PAS 5500/ 850Cは、高精度、高生産性のウェーハステッパーです。現在の半導体メーカーの需要に応えるべく設計・製造されています。集積回路、メモリチップ、その他の複雑なウェハレベルのICの製造に最適です。850Cは、投影光学ユニットと高度なスキャンステージからなる独自のビームリソグラフィ装置を使用しています。低kV、高数開口（NA）レンズを採用し、優れた解像度を実現し、複雑なウエハ加工時でもチップレイアウトの整合性を維持します。さらに、高輝度光源は、最高のスループットと最高のイメージング結果を保証します。この850Cは、航空画像検出、自動故障解析、インダイ故障検査など、多数の欠陥プロセス検査ツールを利用しています。ウェーハ検査では、特許取得済みの「QuadTech」システムにより、プロセスによる欠陥やフォトリソグラフィープロセスに関連する異常についてICを評価します。さらに、このユニットの統合されたエッジ検査ツールにより、不良エッジを迅速に検出できます。精度に関しては、850Cは1nmステップ分解能の変位エンコーダと+/-75nm直線性の精度を備えています。統合されたオートフォーカス・マシンは、最適なウェーハ平坦性を提供するのにも役立ち、ミスアライメントまたはウェーハ表面ワーププロファイルの影響を最小限に抑えます。堅牢で長期的なパフォーマンスを提供するために、850Cは拡張スルーレートのオプションを使用して構築されており、高性能チップや困難なレイアウトジオメトリを処理する場合でも、信頼性と一貫した結果を保証します。さらに、直感的なユーザーインターフェイスとプロセス監視機能により、歩留まりのトラブルシューティングと追跡が容易になります。全体として、PAS 5500/ 850Cは、優れた解像度、完璧な欠陥検査、および長期的なパフォーマンスを提供する信頼性の高いハイエンドウェーハステッパーです。それはより短いターンアラウンドタイムの質の結果を要求するハイテク産業のための完全な装置です。