中古 ASML PAS 5500 / 850 #9186902 を販売中

ASML PAS 5500/850は、半導体製造プロセスで使用されるウェーハステッパーの一種です。ウエハの上面にパターンを繰り返し画像化するために使用され、通常は集積回路の製造に使用されます。PAS 5500/850は、先進的な光学系、高精度測位システム、および精密なウェーハ操作メカニズムを組み合わせて、半導体ウェーハ上のダイをイメージングします。装置は、プリアライナーとアライナー、スキャンミラーと絞りレンズで構成され、レーザーベースのマスクレス源と検出器で動作します。プレアライナーは、レーザー光と画像認識を使用して、ウェーハ上のダイの正確な位置決めに使用されます。プレアライナーは、金型欠陥を検出するためにも使用されます。アライナーは、サーボ駆動制御システムにより、より高い精度を実現します。スキャンミラーと絞りレンズを使用して、マスクレスソースと光学セットアップを調整し、パターンを検出します。ASML PAS 5500/850には、さまざまな設定および制御機能も装備されています。ウェーハ上のパターンにダイを正確にアライメントするための高精度ステージを備えています。また、ウェーハ表面の軽い跳ね上がりを低減する反射防止コーティング機能を備えています。さらに、オートフォーカス機能を搭載しており、画像の焦点を自動調整し、より高い解像度を実現します。フォトリソグラフィなどのプロセスには、ステッパーに接続された追加モジュールが付属しています。このモジュールは、マスクからウェーハにパターンを転送するために使用されるレジストの開発を担当しています。さらに、PAS 5500/850は、複数のウェーハサイズをサポートすることができ、このツールには、さまざまなサイズのウェーハに対して一貫した結果を維持するために必要な露光量を調整するためのアルゴリズムが含まれています。全体として、ASML PAS 5500/850ウェハステッパーは、半導体産業にとって不可欠なハードウェアです。複数のシステムと技術を組み合わせて、集積回路生産のための信頼性の高い正確なイメージングプロセスを提供します。洗練された光学系、正確な位置決め、自動フォーカス、および調整可能な露光量を利用することで、半導体メーカーは高品質の電子部品を作成することができます。