中古 ASML PAS 5500 / 80B #293817852 を販売中

ASML PAS 5500 / 80B
ID: 293817852
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.48 Resolution: 500 nm DCO:  60 Throughput (WPH): 70.
ASML PAS 5500/ 80Bは、オランダのASML社が製造した洗練されたウェーハステッピングシステムです。これは、マイクロチップの生産に不可欠な部分となっているリソグラフィープロセス用に特別に設計されています。このウェーハステッパーにより、薄い半導体ウェハに高精度な画像を出力することができます。このシステムは、プロジェクションレンズ、ウェーハトランスポート、光学テーブルなど、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。プロジェクションレンズは、搬送テーブルと光学テーブルによってウェーハに偏向される狭いビームの光を生成します。レンズの配置は、最適なイメージングを確保するために、システムによって絶えず校正されます。ウェーハステッパーは、1つのウェーハにつき最大10,000個の個々の露出フィールドをイメージすることができ、露出時間は1フィールドにつき2〜3秒です。これにより、生産の高いスループットを実現し、最大速度は1時間あたり6ウェーハです。5500/ 80Bの解像度は1フィールドあたり1568 x 2088ピクセルで、イメージングの精度に優れています。5500/ 80Bは非常に信頼性の高いマシンで、再現性と一貫した生産を提供します。球面収差補正で優れた性能を発揮し、最高の画質を実現するよう設計されています。また、微妙な調整を行い、汚染を防ぐ機能と、穏やかなウエハハンドリングを提供しています。ウェーハステッパーのユーザーインターフェイスは非常にユーザーフレンドリーで、すべての機能を完全に制御できます。直感的なソフトウェアと人間工学に基づいたグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは感光性のマスクパターンを簡単に作成および変更できます。PAS 5500/ 80Bは優れた機械部品であり、優れたイメージング精度と速度を提供します。信頼性が高く耐久性があり、継続的に使用する準備ができていることを保証します。機械はまた問題の場合には呼出しの技術者との優秀なカスタマーサポートを、提供します。
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