中古 ASML PAS 5500 / 80 #9194835 を販売中

ASML PAS 5500/80ウェハステッパーは、半導体製品の生産のための最先端のツールです。小型から中型のプロジェクトに最適で、光学ダイステッピングと露光プロセスの両方を正確に実行し、極めて厳しい生産要件を満たします。この装置は、デュアルフィールド光学システムを備えた非常に統合されたコンパクトな設計を採用しています。これにより、ウェーハを動かすことなくダイナミックダイレベルのイメージングが可能になり、生産性の向上と結果の向上につながります。ASML PAS 5500/80ウェハステッパーには、高精度で安定した動作を保証する最先端のレジストおよび汚染管理ユニットが装備されています。このマシンは、80 x 80 mmの最大フィールドサイズで複雑なパターンを達成するために、ステップとリピートイメージングの広い範囲を提供します。それは多くの湿式および乾式プロセスと互換性があり、非常に汎用性が高く、1X、 1.5X、 2Xおよび4Xの露出のようなフォトリソグラフィのプロセスに使用することができます。PAS5500/80ウェーハステッパーは、プロセス環境を制御するための高度な環境センシングマシンとともに、自動フォーカスおよび自動アライメント機能を備えています。基板温度レベルが低い精密露出を実現し、高速スループット機能により大量生産プロセスに適しています。このツールには、安定したレジストおよび汚染管理のための高精度のたわみ測定アセットも含まれています。これは、製造プロセス全体の精度を確保するのに役立ちます。ウェーハステッパーには、冗長プログラムに対する保護、誤ったプログラムの選択、プロセス関連の事故など、その設計に追加のセーフガードが組み込まれています。ASML PAS5500/80ウェーハステッパーモデルは、最低1クラスのクリーンルームで使用するために設計されており、非常に低ノイズレベルで一定の電源を備えています。生産プロセスをリアルタイムで最適化することができ、工場のオートメーション機器に統合することができます。ユーザーフレンドリーな設計により、あらゆる経験レベルのエンジニアに最適です。