中古 ASML PAS 5500 / 80 #9188719 を販売中

ASML PAS 5500/80フォーカスアセンブリステッパーは、半導体製造のための高度なウェハステッパーで、特徴サイズの解像度と精度を高めたメーカーを提供します。ウェーハ、マスク、基板など様々なイメージング素子に対応した高速・高精度なウェーハ加工ユニットです。このウェハステッパーは、集積回路の製造・開発でよく見られるもので、高解像度のプロジェクションリソグラフィを使用して、シリコンウェハ上の画像を高速かつ高精度に取得します。ステッパーは、高度なコンピューター制御を備えた洗練されたエアベアリング装置を使用しており、望ましいパターンを迅速かつ正確にウェーハにスキャンすることができます。このデバイスは、小型のメンテナンスフリーモータによって駆動され、冷却ファンはプロセス中にウェーハ上の冷却空気を提供します。このデバイスには、微調整された光源と5軸ステージを備えた高解像度プロジェクションシステムが装備されています。高度なセンサ技術を駆使してウェーハの位置を正確に測定し、3方向すべての位置を監視します。ステッパーはOPCパターンで使用することができ、より小さい特徴を達成し、精密特徴のサイズのためのより堅い制御。その他の機能としては、自動エンドストップと統合された電気絶縁ユニット、および操作性を向上させるパルス式液晶ディスプレイがあります。ASML PAS 5500/80は、最大直径24インチのウェーハ処理が可能で、最大20kgの重量物に対応できます。最大7500ステップ/秒、最小サイズ解像度0。5ミクロンの印象的な最大スキャン速度を誇り、加工された表面の複雑で微細なディテールを可能にします。ステッパーは粒子の汚染を最小限に抑えるように設計されており、クリーンルームの完全な互換性を提供します。アクティブ振動制御は、効率的な電気アーキテクチャと組み合わせて、デバイスの機能を強化します。消費電力を最小限に抑えながら、拡張サイクルにわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計されています。PAS5500/80は非常に強力なウェーハステッパーであり、高精度の部品を極めて正確に製造するために必要な工具細工と機能をメーカーに提供します。その軽量、コンパクトなサイズ、効率的なデザインはすべて産業環境で有利です。この機械は、機械のダウンタイムを最小限に抑えて高品質な生産を可能にするように設計されており、費用対効果が高く信頼性の高い半導体製造プロセスを実現しています。