中古 ASML PAS 5500 / 750F #293813387 を販売中

ASML PAS 5500/ 750Fは、高度なフォトリソグラフィーアプリケーションに使用されるコンピュータ数値制御（CNC）ウェーハステッパーです。ハイエンド半導体ウェーハや基板上の高品質な画像やパターンを製造するために設計されています。PAMS （Positioning Accuracy Monitoring Equipment）、 16ビット分解能、スループット速度は最大8ウェーハ/時間です。PAS 5500/ 750Fは、150ミクロンという薄さの基板材料上の写真リソグラフィ画像の正確なパターン化と位置決めが可能です。複数のCNC技術を組み合わせて、高精度で高スループットの生産を実現しています。CNC制御システムには、位置制御アルゴリズム、パス補正アルゴリズム、パス補正アルゴリズムが含まれます。これらのアルゴリズムは、画像がエッジからエッジまで基板上で正確かつ一貫してパターン化されていること、および線分配置や画像ジオメトリの変化が自動的に修正されることを保証します。さらに、基板の処理時間を最小限に抑え、スループットを向上させるためにスキャン経路を最適化するように設計されています。ASML PAS 5500/ 750Fは、大規模な高感度マシンビジョンユニットを備えており、機械内のモーションエラーや故障のリアルタイムフィードバックを提供します。これは、ダウンタイムを削減し、生成されるパターンや画像の正確性を確保するのに役立ちます。このマシンには直感的なユーザーインターフェイスも含まれており、ユーザーは機能や機能を簡単にプログラムおよび制御し、潜在的な問題を診断してトラブルシューティングすることができます。PAS 5500/ 750Fは、他のデバイスやシステムとの接続も容易に統合できるため、自動製造環境での使用に最適です。このツールは、診断および計測ユニット、ロボット工学、または他のCNCシステムなど、工場内の他の機器に接続できます。これにより、高品質の画像を連続的に生成できる完全自動化アセットが可能になります。ASML PAS 5500/ 750Fは、今日の市場で最も先進的なCNCウェーハステッパーの1つです。精度、速度、接続性を兼ね備えているため、高精度フォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高速動作により、PAS 5500/ 750Fは生産時間の短縮、コストの削減、効率の最大化に役立ちます。